Sacrificial Layer Technique for Releasing Metallized Multilayer SU-8 Devices

Näytä kaikki kuvailutiedot



Pysyväisosoite

http://hdl.handle.net/10138/298299

Lähdeviite

Tatikonda , A , Jokinen , V P , Evard , H & Franssila , S 2018 , ' Sacrificial Layer Technique for Releasing Metallized Multilayer SU-8 Devices ' , Micromachines , vol. 9 , no. 12 , 673 . https://doi.org/10.3390/mi9120673

Julkaisun nimi: Sacrificial Layer Technique for Releasing Metallized Multilayer SU-8 Devices
Tekijä: Tatikonda, Anand; Jokinen, Ville P.; Evard, Hanno; Franssila, Sami
Tekijän organisaatio: Division of Pharmaceutical Chemistry and Technology
Faculty of Pharmacy
Päiväys: 2018-12
Kieli: eng
Sivumäärä: 11
Kuuluu julkaisusarjaan: Micromachines
ISSN: 2072-666X
DOI-tunniste: https://doi.org/10.3390/mi9120673
URI: http://hdl.handle.net/10138/298299
Tiivistelmä: The low fabrication cost of SU-8-based devices has opened the fields of point-of-care devices (POC), mu TAS and Lab-on-Chip technologies, which call for cheap and disposable devices. Often this translates to free-standing, suspended devices and a reusable carrier wafer. This necessitates a sacrificial layer to release the devices from the substrates. Both inorganic (metals and oxides) and organic materials (polymers) have been used as sacrificial materials, but they fall short for fabrication and releasing multilayer SU-8 devices. We propose photoresist AZ 15nXT (MicroChemicals GmbH, Ulm, Germany) to be used as a sacrificial layer. AZ 15nXT is stable during SU-8 processing, making it suitable for fabricating free-standing multilayer devices. We show two methods for cross-linking AZ 15nXT for stable sacrificial layers and three routes for sacrificial release of the multilayer SU-8 devices. We demonstrate the capability of our release processes by fabrication of a three-layer free-standing microfluidic electrospray ionization (ESI) chip and a free-standing multilayer device with electrodes in a microchannel.
Avainsanat: SU-8
multi layered chips
AZ 15nXT
sacrificial release
microchips
microfabrication
microfluidics
free standing
FABRICATION
PHOTORESIST
RESIST
DNA
116 Chemical sciences
317 Pharmacy
221 Nano-technology
Vertaisarvioitu: Kyllä
Tekijänoikeustiedot: cc_by
Pääsyrajoitteet: openAccess
Rinnakkaistallennettu versio: publishedVersion


Tiedostot

Latausmäärä yhteensä: Ladataan...

Tiedosto(t) Koko Formaatti Näytä
micromachines_09_12_00673.pdf 2.368MB PDF Avaa tiedosto

Viite kuuluu kokoelmiin:

Näytä kaikki kuvailutiedot