Johtavien ohutkalvojen kasvattaminen epitaksiaalisesti SrTiO3:lle

Show full item record



Permalink

http://urn.fi/URN:NBN:fi:hulib-202104071829
Title: Johtavien ohutkalvojen kasvattaminen epitaksiaalisesti SrTiO3:lle
Author: Keränen, Laura
Contributor: University of Helsinki, Faculty of Science
Publisher: Helsingin yliopisto
Date: 2021
URI: http://urn.fi/URN:NBN:fi:hulib-202104071829
http://hdl.handle.net/10138/328796
Thesis level: master's thesis
Abstract: Tutkielman kirjallisuusosassa tarkastellaan johtavien metalli-, oksidi- ja nitridikalvojen kasvattamista epitaksiaalisesti strontiumtitanaatille. Epitaksiaalisia kalvoja on kasvatettu fysikaalisilla kasvatusmenetelmillä, kuten laserpulssikasvatuksella, elektronisuihkuhöyrystyksellä ja sputteroimalla, sekä kemiallisilla kasvatusmenetelmillä, kuten atomikerroskasvatuksella, sooli-geeli-menetelmällä sekä metalliorgaanisella kemiallisella kaasufaasikasvatuksella. Useiden tekijöiden, kuten substraattien lämpötilan ja esikäsittelyn todettiin vaikuttavan kalvojen orientaatioon. Kokeellisessa osassa iridium- ja platinaohutkalvoja kasvatettiin (100)-orientoiduille strontiumtitanaattisubstraateille atomikerroskasvatuksella. Iridiumkalvojen lähtöaineina käytettiin iridiumasetyyliasetonaattia sekä happea tai otsonia ja vetyä. Platinakalvojen lähtöaineina käytettiin platina-asetyyliasetonaattia, otsonia ja vetyä tai metyylisyklopentadienyylitrimetyyliplatinaa ja happea. Kalvojen rakennetta ja tekstuuria tutkittiin θ-2θ- ja in plane -röntgendiffraktiolla. Osaa iridiumkalvojen poikkileikkauksista tutkittiin myös läpäisyelektronimikroskopialla. Iridiumkalvojen todettiin olevan vahvasti (100)-orientoituneita, mutta monikiteisiä. Platinan (h00)-piikkejä ei kyetty erottamaan substraatin (h00)-piikeistä, mutta vahvojen (111)-piikkien perusteella kalvot eivät olleet epitaksiaalisia. Kalvojen kuumentaminen lisäsi (111)-orientaatiota molemmissa metalleissa.
Subject: ALD
SrTiO3
thin film


Files in this item

Total number of downloads: Loading...

Files Size Format View
Keranen_Laura_tutkielma_2021.pdf 4.405Mb PDF View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Show full item record